Obj	V_Res	µm/pix	Z step (µm)	Scanning	Sampling	Destripe	Z_Block
LCT 4x	1600	1.800	5	Fast	1/1	N/A/64	600
Wavelength	Power L	Power R					
488	20.00	20.00					
561	48.00	42.00					
642	52.00	48.00					
	20.00	20.00					
X	Y	Z	Laser	Side	Exposure	Skip	
463240	420820	1532	561	0	2	1	
463240	420820	2132	561	0	2	1	
463240	420820	2732	561	0	2	1	
463240	420820	3332	561	0	2	1	
463240	420820	3932	561	0	2	1	
463240	420820	4532	561	0	2	1	
463240	420820	5132	561	0	2	1	
463240	420820	5732	561	0	2	1	
463240	420820	6332	561	0	2	1	
463240	420820	6932	561	0	2	1	
463240	420820	7532	561	0	2	1	
463240	420820	8132	561	0	2	1	
463240	420820	8732	561	0	2	1	
463240	420820	1532	642	0	2	1	
463240	420820	2132	642	0	2	1	
463240	420820	2732	642	0	2	1	
463240	420820	3332	642	0	2	1	
463240	420820	3932	642	0	2	1	
463240	420820	4532	642	0	2	1	
463240	420820	5132	642	0	2	1	
463240	420820	5732	642	0	2	1	
463240	420820	6332	642	0	2	1	
463240	420820	6932	642	0	2	1	
463240	420820	7532	642	0	2	1	
463240	420820	8132	642	0	2	1	
463240	420820	8732	642	0	2	1	
463240	446740	1532	561	0	2	1	
463240	446740	2132	561	0	2	1	
463240	446740	2732	561	0	2	1	
463240	446740	3332	561	0	2	1	
463240	446740	3932	561	0	2	1	
463240	446740	4532	561	0	2	1	
463240	446740	5132	561	0	2	1	
463240	446740	5732	561	0	2	1	
463240	446740	6332	561	0	2	1	
463240	446740	6932	561	0	2	1	
463240	446740	7532	561	0	2	1	
463240	446740	8132	561	0	2	1	
463240	446740	8732	561	0	2	1	
463240	446740	1532	642	0	2	1	
463240	446740	2132	642	0	2	1	
463240	446740	2732	642	0	2	1	
463240	446740	3332	642	0	2	1	
463240	446740	3932	642	0	2	1	
463240	446740	4532	642	0	2	1	
463240	446740	5132	642	0	2	1	
463240	446740	5732	642	0	2	1	
463240	446740	6332	642	0	2	1	
463240	446740	6932	642	0	2	1	
463240	446740	7532	642	0	2	1	
463240	446740	8132	642	0	2	1	
463240	446740	8732	642	0	2	1	
463240	472660	1532	561	0	2	1	
463240	472660	2132	561	0	2	1	
463240	472660	2732	561	0	2	1	
463240	472660	3332	561	0	2	1	
463240	472660	3932	561	0	2	1	
463240	472660	4532	561	0	2	1	
463240	472660	5132	561	0	2	1	
463240	472660	5732	561	0	2	1	
463240	472660	6332	561	0	2	1	
463240	472660	6932	561	0	2	1	
463240	472660	7532	561	0	2	1	
463240	472660	8132	561	0	2	1	
463240	472660	8732	561	0	2	1	
463240	472660	1532	642	0	2	1	
463240	472660	2132	642	0	2	1	
463240	472660	2732	642	0	2	1	
463240	472660	3332	642	0	2	1	
463240	472660	3932	642	0	2	1	
463240	472660	4532	642	0	2	1	
463240	472660	5132	642	0	2	1	
463240	472660	5732	642	0	2	1	
463240	472660	6332	642	0	2	1	
463240	472660	6932	642	0	2	1	
463240	472660	7532	642	0	2	1	
463240	472660	8132	642	0	2	1	
463240	472660	8732	642	0	2	1	
463240	498580	1532	561	0	2	1	
463240	498580	2132	561	0	2	1	
463240	498580	2732	561	0	2	1	
463240	498580	3332	561	0	2	1	
463240	498580	3932	561	0	2	1	
463240	498580	4532	561	0	2	1	
463240	498580	5132	561	0	2	1	
463240	498580	5732	561	0	2	1	
463240	498580	6332	561	0	2	1	
463240	498580	6932	561	0	2	1	
463240	498580	7532	561	0	2	1	
463240	498580	8132	561	0	2	1	
463240	498580	8732	561	0	2	1	
463240	498580	1532	642	0	2	1	
463240	498580	2132	642	0	2	1	
463240	498580	2732	642	0	2	1	
463240	498580	3332	642	0	2	1	
463240	498580	3932	642	0	2	1	
463240	498580	4532	642	0	2	1	
463240	498580	5132	642	0	2	1	
463240	498580	5732	642	0	2	1	
463240	498580	6332	642	0	2	1	
463240	498580	6932	642	0	2	1	
463240	498580	7532	642	0	2	1	
463240	498580	8132	642	0	2	1	
463240	498580	8732	642	0	2	1	
463240	524500	1532	561	0	2	1	
463240	524500	2132	561	0	2	1	
463240	524500	2732	561	0	2	1	
463240	524500	3332	561	0	2	1	
463240	524500	3932	561	0	2	1	
463240	524500	4532	561	0	2	1	
463240	524500	5132	561	0	2	1	
463240	524500	5732	561	0	2	1	
463240	524500	6332	561	0	2	1	
463240	524500	6932	561	0	2	1	
463240	524500	7532	561	0	2	1	
463240	524500	8132	561	0	2	1	
463240	524500	8732	561	0	2	1	
463240	524500	1532	642	0	2	1	
463240	524500	2132	642	0	2	1	
463240	524500	2732	642	0	2	1	
463240	524500	3332	642	0	2	1	
463240	524500	3932	642	0	2	1	
463240	524500	4532	642	0	2	1	
463240	524500	5132	642	0	2	1	
463240	524500	5732	642	0	2	1	
463240	524500	6332	642	0	2	1	
463240	524500	6932	642	0	2	1	
463240	524500	7532	642	0	2	1	
463240	524500	8132	642	0	2	1	
463240	524500	8732	642	0	2	1	
495640	420820	1532	561	1	2	1	
495640	420820	2132	561	1	2	1	
495640	420820	2732	561	1	2	1	
495640	420820	3332	561	1	2	1	
495640	420820	3932	561	1	2	1	
495640	420820	4532	561	1	2	1	
495640	420820	5132	561	1	2	1	
495640	420820	5732	561	1	2	1	
495640	420820	6332	561	1	2	1	
495640	420820	6932	561	1	2	1	
495640	420820	7532	561	1	2	1	
495640	420820	8132	561	1	2	1	
495640	420820	8732	561	1	2	1	
495640	420820	1532	642	1	2	1	
495640	420820	2132	642	1	2	1	
495640	420820	2732	642	1	2	1	
495640	420820	3332	642	1	2	1	
495640	420820	3932	642	1	2	1	
495640	420820	4532	642	1	2	1	
495640	420820	5132	642	1	2	1	
495640	420820	5732	642	1	2	1	
495640	420820	6332	642	1	2	1	
495640	420820	6932	642	1	2	1	
495640	420820	7532	642	1	2	1	
495640	420820	8132	642	1	2	1	
495640	420820	8732	642	1	2	1	
495640	446740	1532	561	1	2	1	
495640	446740	2132	561	1	2	1	
495640	446740	2732	561	1	2	1	
495640	446740	3332	561	1	2	1	
495640	446740	3932	561	1	2	1	
495640	446740	4532	561	1	2	1	
495640	446740	5132	561	1	2	1	
495640	446740	5732	561	1	2	1	
495640	446740	6332	561	1	2	1	
495640	446740	6932	561	1	2	1	
495640	446740	7532	561	1	2	1	
495640	446740	8132	561	1	2	1	
495640	446740	8732	561	1	2	1	
495640	446740	1532	642	1	2	1	
495640	446740	2132	642	1	2	1	
495640	446740	2732	642	1	2	1	
495640	446740	3332	642	1	2	1	
495640	446740	3932	642	1	2	1	
495640	446740	4532	642	1	2	1	
495640	446740	5132	642	1	2	1	
495640	446740	5732	642	1	2	1	
495640	446740	6332	642	1	2	1	
495640	446740	6932	642	1	2	1	
495640	446740	7532	642	1	2	1	
495640	446740	8132	642	1	2	1	
495640	446740	8732	642	1	2	1	
495640	472660	1532	561	1	2	1	
495640	472660	2132	561	1	2	1	
495640	472660	2732	561	1	2	1	
495640	472660	3332	561	1	2	1	
495640	472660	3932	561	1	2	1	
495640	472660	4532	561	1	2	1	
495640	472660	5132	561	1	2	1	
495640	472660	5732	561	1	2	1	
495640	472660	6332	561	1	2	1	
495640	472660	6932	561	1	2	1	
495640	472660	7532	561	1	2	1	
495640	472660	8132	561	1	2	1	
495640	472660	8732	561	1	2	1	
495640	472660	1532	642	1	2	1	
495640	472660	2132	642	1	2	1	
495640	472660	2732	642	1	2	1	
495640	472660	3332	642	1	2	1	
495640	472660	3932	642	1	2	1	
495640	472660	4532	642	1	2	1	
495640	472660	5132	642	1	2	1	
495640	472660	5732	642	1	2	1	
495640	472660	6332	642	1	2	1	
495640	472660	6932	642	1	2	1	
495640	472660	7532	642	1	2	1	
495640	472660	8132	642	1	2	1	
495640	472660	8732	642	1	2	1	
495640	498580	1532	561	1	2	1	
495640	498580	2132	561	1	2	1	
495640	498580	2732	561	1	2	1	
495640	498580	3332	561	1	2	1	
495640	498580	3932	561	1	2	1	
495640	498580	4532	561	1	2	1	
495640	498580	5132	561	1	2	1	
495640	498580	5732	561	1	2	1	
495640	498580	6332	561	1	2	1	
495640	498580	6932	561	1	2	1	
495640	498580	7532	561	1	2	1	
495640	498580	8132	561	1	2	1	
495640	498580	8732	561	1	2	1	
495640	498580	1532	642	1	2	1	
495640	498580	2132	642	1	2	1	
495640	498580	2732	642	1	2	1	
495640	498580	3332	642	1	2	1	
495640	498580	3932	642	1	2	1	
495640	498580	4532	642	1	2	1	
495640	498580	5132	642	1	2	1	
495640	498580	5732	642	1	2	1	
495640	498580	6332	642	1	2	1	
495640	498580	6932	642	1	2	1	
495640	498580	7532	642	1	2	1	
495640	498580	8132	642	1	2	1	
495640	498580	8732	642	1	2	1	
495640	524500	1532	561	1	2	1	
495640	524500	2132	561	1	2	1	
495640	524500	2732	561	1	2	1	
495640	524500	3332	561	1	2	1	
495640	524500	3932	561	1	2	1	
495640	524500	4532	561	1	2	1	
495640	524500	5132	561	1	2	1	
495640	524500	5732	561	1	2	1	
495640	524500	6332	561	1	2	1	
495640	524500	6932	561	1	2	1	
495640	524500	7532	561	1	2	1	
495640	524500	8132	561	1	2	1	
495640	524500	8732	561	1	2	1	
495640	524500	1532	642	1	2	1	
495640	524500	2132	642	1	2	1	
495640	524500	2732	642	1	2	1	
495640	524500	3332	642	1	2	1	
495640	524500	3932	642	1	2	1	
495640	524500	4532	642	1	2	1	
495640	524500	5132	642	1	2	1	
495640	524500	5732	642	1	2	1	
495640	524500	6332	642	1	2	1	
495640	524500	6932	642	1	2	1	
495640	524500	7532	642	1	2	1	
495640	524500	8132	642	1	2	1	
495640	524500	8732	642	1	2	1	
528040	420820	1532	561	1	2	1	
528040	420820	2132	561	1	2	1	
528040	420820	2732	561	1	2	1	
528040	420820	3332	561	1	2	1	
528040	420820	3932	561	1	2	1	
528040	420820	4532	561	1	2	1	
528040	420820	5132	561	1	2	1	
528040	420820	5732	561	1	2	1	
528040	420820	6332	561	1	2	1	
528040	420820	6932	561	1	2	1	
528040	420820	7532	561	1	2	1	
528040	420820	8132	561	1	2	1	
528040	420820	8732	561	1	2	1	
528040	420820	1532	642	1	2	1	
528040	420820	2132	642	1	2	1	
528040	420820	2732	642	1	2	1	
528040	420820	3332	642	1	2	1	
528040	420820	3932	642	1	2	1	
528040	420820	4532	642	1	2	1	
528040	420820	5132	642	1	2	1	
528040	420820	5732	642	1	2	1	
528040	420820	6332	642	1	2	1	
528040	420820	6932	642	1	2	1	
528040	420820	7532	642	1	2	1	
528040	420820	8132	642	1	2	1	
528040	420820	8732	642	1	2	1	
528040	446740	1532	561	1	2	1	
528040	446740	2132	561	1	2	1	
528040	446740	2732	561	1	2	1	
528040	446740	3332	561	1	2	1	
528040	446740	3932	561	1	2	1	
528040	446740	4532	561	1	2	1	
528040	446740	5132	561	1	2	1	
528040	446740	5732	561	1	2	1	
528040	446740	6332	561	1	2	1	
528040	446740	6932	561	1	2	1	
528040	446740	7532	561	1	2	1	
528040	446740	8132	561	1	2	1	
528040	446740	8732	561	1	2	1	
528040	446740	1532	642	1	2	1	
528040	446740	2132	642	1	2	1	
528040	446740	2732	642	1	2	1	
528040	446740	3332	642	1	2	1	
528040	446740	3932	642	1	2	1	
528040	446740	4532	642	1	2	1	
528040	446740	5132	642	1	2	1	
528040	446740	5732	642	1	2	1	
528040	446740	6332	642	1	2	1	
528040	446740	6932	642	1	2	1	
528040	446740	7532	642	1	2	1	
528040	446740	8132	642	1	2	1	
528040	446740	8732	642	1	2	1	
528040	472660	1532	561	1	2	1	
528040	472660	2132	561	1	2	1	
528040	472660	2732	561	1	2	1	
528040	472660	3332	561	1	2	1	
528040	472660	3932	561	1	2	1	
528040	472660	4532	561	1	2	1	
528040	472660	5132	561	1	2	1	
528040	472660	5732	561	1	2	1	
528040	472660	6332	561	1	2	1	
528040	472660	6932	561	1	2	1	
528040	472660	7532	561	1	2	1	
528040	472660	8132	561	1	2	1	
528040	472660	8732	561	1	2	1	
528040	472660	1532	642	1	2	1	
528040	472660	2132	642	1	2	1	
528040	472660	2732	642	1	2	1	
528040	472660	3332	642	1	2	1	
528040	472660	3932	642	1	2	1	
528040	472660	4532	642	1	2	1	
528040	472660	5132	642	1	2	1	
528040	472660	5732	642	1	2	1	
528040	472660	6332	642	1	2	1	
528040	472660	6932	642	1	2	1	
528040	472660	7532	642	1	2	1	
528040	472660	8132	642	1	2	1	
528040	472660	8732	642	1	2	1	
528040	498580	1532	561	1	2	1	
528040	498580	2132	561	1	2	1	
528040	498580	2732	561	1	2	1	
528040	498580	3332	561	1	2	1	
528040	498580	3932	561	1	2	1	
528040	498580	4532	561	1	2	1	
528040	498580	5132	561	1	2	1	
528040	498580	5732	561	1	2	1	
528040	498580	6332	561	1	2	1	
528040	498580	6932	561	1	2	1	
528040	498580	7532	561	1	2	1	
528040	498580	8132	561	1	2	1	
528040	498580	8732	561	1	2	1	
528040	498580	1532	642	1	2	1	
528040	498580	2132	642	1	2	1	
528040	498580	2732	642	1	2	1	
528040	498580	3332	642	1	2	1	
528040	498580	3932	642	1	2	1	
528040	498580	4532	642	1	2	1	
528040	498580	5132	642	1	2	1	
528040	498580	5732	642	1	2	1	
528040	498580	6332	642	1	2	1	
528040	498580	6932	642	1	2	1	
528040	498580	7532	642	1	2	1	
528040	498580	8132	642	1	2	1	
528040	498580	8732	642	1	2	1	
528040	524500	1532	561	1	2	1	
528040	524500	2132	561	1	2	1	
528040	524500	2732	561	1	2	1	
528040	524500	3332	561	1	2	1	
528040	524500	3932	561	1	2	1	
528040	524500	4532	561	1	2	1	
528040	524500	5132	561	1	2	1	
528040	524500	5732	561	1	2	1	
528040	524500	6332	561	1	2	1	
528040	524500	6932	561	1	2	1	
528040	524500	7532	561	1	2	1	
528040	524500	8132	561	1	2	1	
528040	524500	8732	561	1	2	1	
528040	524500	1532	642	1	2	1	
528040	524500	2132	642	1	2	1	
528040	524500	2732	642	1	2	1	
528040	524500	3332	642	1	2	1	
528040	524500	3932	642	1	2	1	
528040	524500	4532	642	1	2	1	
528040	524500	5132	642	1	2	1	
528040	524500	5732	642	1	2	1	
528040	524500	6332	642	1	2	1	
528040	524500	6932	642	1	2	1	
528040	524500	7532	642	1	2	1	
528040	524500	8132	642	1	2	1	
528040	524500	8732	642	1	2	1