Obj V_Res µm/pix Z step (µm) Scanning Sampling Destripe Z_Block LCT 4x 1600 1.800 5 Fast 1/1 N/A/64 600 Wavelength Power L Power R 488 30.00 30.00 561 15.00 15.00 647 20.00 20.00 785 20.00 20.00 X Y Z Laser Side Exposure Skip 474080 429870 500 488 1 2 1 474080 429870 1100 488 1 2 1 474080 429870 1700 488 1 2 1 474080 429870 2300 488 1 2 1 474080 429870 2900 488 1 2 1 474080 429870 3500 488 1 2 1 474080 429870 4100 488 1 2 1 474080 429870 4700 488 1 2 1 474080 429870 5300 488 1 2 1 474080 429870 5900 488 1 2 1 474080 429870 6500 488 1 2 1 474080 429870 7100 488 1 2 1 474080 429870 7700 488 1 2 1 474080 429870 8300 488 1 2 1 474080 429870 8900 488 1 2 1 474080 429870 9500 488 1 2 1 474080 429870 10100 488 1 2 1 474080 429870 500 561 1 2 1 474080 429870 1100 561 1 2 1 474080 429870 1700 561 1 2 1 474080 429870 2300 561 1 2 1 474080 429870 2900 561 1 2 1 474080 429870 3500 561 1 2 1 474080 429870 4100 561 1 2 1 474080 429870 4700 561 1 2 1 474080 429870 5300 561 1 2 1 474080 429870 5900 561 1 2 1 474080 429870 6500 561 1 2 1 474080 429870 7100 561 1 2 1 474080 429870 7700 561 1 2 1 474080 429870 8300 561 1 2 1 474080 429870 8900 561 1 2 1 474080 429870 9500 561 1 2 1 474080 429870 10100 561 1 2 1 474080 455790 500 488 1 2 1 474080 455790 1100 488 1 2 1 474080 455790 1700 488 1 2 1 474080 455790 2300 488 1 2 1 474080 455790 2900 488 1 2 1 474080 455790 3500 488 1 2 1 474080 455790 4100 488 1 2 1 474080 455790 4700 488 1 2 1 474080 455790 5300 488 1 2 1 474080 455790 5900 488 1 2 1 474080 455790 6500 488 1 2 1 474080 455790 7100 488 1 2 1 474080 455790 7700 488 1 2 1 474080 455790 8300 488 1 2 1 474080 455790 8900 488 1 2 1 474080 455790 9500 488 1 2 1 474080 455790 10100 488 1 2 1 474080 455790 500 561 1 2 1 474080 455790 1100 561 1 2 1 474080 455790 1700 561 1 2 1 474080 455790 2300 561 1 2 1 474080 455790 2900 561 1 2 1 474080 455790 3500 561 1 2 1 474080 455790 4100 561 1 2 1 474080 455790 4700 561 1 2 1 474080 455790 5300 561 1 2 1 474080 455790 5900 561 1 2 1 474080 455790 6500 561 1 2 1 474080 455790 7100 561 1 2 1 474080 455790 7700 561 1 2 1 474080 455790 8300 561 1 2 1 474080 455790 8900 561 1 2 1 474080 455790 9500 561 1 2 1 474080 455790 10100 561 1 2 1 474080 481710 500 488 1 2 1 474080 481710 1100 488 1 2 1 474080 481710 1700 488 1 2 1 474080 481710 2300 488 1 2 1 474080 481710 2900 488 1 2 1 474080 481710 3500 488 1 2 1 474080 481710 4100 488 1 2 1 474080 481710 4700 488 1 2 1 474080 481710 5300 488 1 2 1 474080 481710 5900 488 1 2 1 474080 481710 6500 488 1 2 1 474080 481710 7100 488 1 2 1 474080 481710 7700 488 1 2 1 474080 481710 8300 488 1 2 1 474080 481710 8900 488 1 2 1 474080 481710 9500 488 1 2 1 474080 481710 10100 488 1 2 1 474080 481710 500 561 1 2 1 474080 481710 1100 561 1 2 1 474080 481710 1700 561 1 2 1 474080 481710 2300 561 1 2 1 474080 481710 2900 561 1 2 1 474080 481710 3500 561 1 2 1 474080 481710 4100 561 1 2 1 474080 481710 4700 561 1 2 1 474080 481710 5300 561 1 2 1 474080 481710 5900 561 1 2 1 474080 481710 6500 561 1 2 1 474080 481710 7100 561 1 2 1 474080 481710 7700 561 1 2 1 474080 481710 8300 561 1 2 1 474080 481710 8900 561 1 2 1 474080 481710 9500 561 1 2 1 474080 481710 10100 561 1 2 1 474080 507630 500 488 1 2 1 474080 507630 1100 488 1 2 1 474080 507630 1700 488 1 2 1 474080 507630 2300 488 1 2 1 474080 507630 2900 488 1 2 1 474080 507630 3500 488 1 2 1 474080 507630 4100 488 1 2 1 474080 507630 4700 488 1 2 1 474080 507630 5300 488 1 2 1 474080 507630 5900 488 1 2 1 474080 507630 6500 488 1 2 1 474080 507630 7100 488 1 2 1 474080 507630 7700 488 1 2 1 474080 507630 8300 488 1 2 1 474080 507630 8900 488 1 2 1 474080 507630 9500 488 1 2 1 474080 507630 10100 488 1 2 1 474080 507630 500 561 1 2 1 474080 507630 1100 561 1 2 1 474080 507630 1700 561 1 2 1 474080 507630 2300 561 1 2 1 474080 507630 2900 561 1 2 1 474080 507630 3500 561 1 2 1 474080 507630 4100 561 1 2 1 474080 507630 4700 561 1 2 1 474080 507630 5300 561 1 2 1 474080 507630 5900 561 1 2 1 474080 507630 6500 561 1 2 1 474080 507630 7100 561 1 2 1 474080 507630 7700 561 1 2 1 474080 507630 8300 561 1 2 1 474080 507630 8900 561 1 2 1 474080 507630 9500 561 1 2 1 474080 507630 10100 561 1 2 1 474080 533550 500 488 1 2 1 474080 533550 1100 488 1 2 1 474080 533550 1700 488 1 2 1 474080 533550 2300 488 1 2 1 474080 533550 2900 488 1 2 1 474080 533550 3500 488 1 2 1 474080 533550 4100 488 1 2 1 474080 533550 4700 488 1 2 1 474080 533550 5300 488 1 2 1 474080 533550 5900 488 1 2 1 474080 533550 6500 488 1 2 1 474080 533550 7100 488 1 2 1 474080 533550 7700 488 1 2 1 474080 533550 8300 488 1 2 1 474080 533550 8900 488 1 2 1 474080 533550 9500 488 1 2 1 474080 533550 10100 488 1 2 1 474080 533550 500 561 1 2 1 474080 533550 1100 561 1 2 1 474080 533550 1700 561 1 2 1 474080 533550 2300 561 1 2 1 474080 533550 2900 561 1 2 1 474080 533550 3500 561 1 2 1 474080 533550 4100 561 1 2 1 474080 533550 4700 561 1 2 1 474080 533550 5300 561 1 2 1 474080 533550 5900 561 1 2 1 474080 533550 6500 561 1 2 1 474080 533550 7100 561 1 2 1 474080 533550 7700 561 1 2 1 474080 533550 8300 561 1 2 1 474080 533550 8900 561 1 2 1 474080 533550 9500 561 1 2 1 474080 533550 10100 561 1 2 1 474080 559470 500 488 1 2 1 474080 559470 1100 488 1 2 1 474080 559470 1700 488 1 2 1 474080 559470 2300 488 1 2 1 474080 559470 2900 488 1 2 1 474080 559470 3500 488 1 2 1 474080 559470 4100 488 1 2 1 474080 559470 4700 488 1 2 1 474080 559470 5300 488 1 2 1 474080 559470 5900 488 1 2 1 474080 559470 6500 488 1 2 1 474080 559470 7100 488 1 2 1 474080 559470 7700 488 1 2 1 474080 559470 8300 488 1 2 1 474080 559470 8900 488 1 2 1 474080 559470 9500 488 1 2 1 474080 559470 10100 488 1 2 1 474080 559470 500 561 1 2 1 474080 559470 1100 561 1 2 1 474080 559470 1700 561 1 2 1 474080 559470 2300 561 1 2 1 474080 559470 2900 561 1 2 1 474080 559470 3500 561 1 2 1 474080 559470 4100 561 1 2 1 474080 559470 4700 561 1 2 1 474080 559470 5300 561 1 2 1 474080 559470 5900 561 1 2 1 474080 559470 6500 561 1 2 1 474080 559470 7100 561 1 2 1 474080 559470 7700 561 1 2 1 474080 559470 8300 561 1 2 1 474080 559470 8900 561 1 2 1 474080 559470 9500 561 1 2 1 474080 559470 10100 561 1 2 1 506480 429870 500 488 1 2 1 506480 429870 1100 488 1 2 1 506480 429870 1700 488 1 2 1 506480 429870 2300 488 1 2 1 506480 429870 2900 488 1 2 1 506480 429870 3500 488 1 2 1 506480 429870 4100 488 1 2 1 506480 429870 4700 488 1 2 1 506480 429870 5300 488 1 2 1 506480 429870 5900 488 1 2 1 506480 429870 6500 488 1 2 1 506480 429870 7100 488 1 2 1 506480 429870 7700 488 1 2 1 506480 429870 8300 488 1 2 1 506480 429870 8900 488 1 2 1 506480 429870 9500 488 1 2 1 506480 429870 10100 488 1 2 1 506480 429870 500 561 1 2 1 506480 429870 1100 561 1 2 1 506480 429870 1700 561 1 2 1 506480 429870 2300 561 1 2 1 506480 429870 2900 561 1 2 1 506480 429870 3500 561 1 2 1 506480 429870 4100 561 1 2 1 506480 429870 4700 561 1 2 1 506480 429870 5300 561 1 2 1 506480 429870 5900 561 1 2 1 506480 429870 6500 561 1 2 1 506480 429870 7100 561 1 2 1 506480 429870 7700 561 1 2 1 506480 429870 8300 561 1 2 1 506480 429870 8900 561 1 2 1 506480 429870 9500 561 1 2 1 506480 429870 10100 561 1 2 1 506480 455790 500 488 1 2 1 506480 455790 1100 488 1 2 1 506480 455790 1700 488 1 2 1 506480 455790 2300 488 1 2 1 506480 455790 2900 488 1 2 1 506480 455790 3500 488 1 2 1 506480 455790 4100 488 1 2 1 506480 455790 4700 488 1 2 1 506480 455790 5300 488 1 2 1 506480 455790 5900 488 1 2 1 506480 455790 6500 488 1 2 1 506480 455790 7100 488 1 2 1 506480 455790 7700 488 1 2 1 506480 455790 8300 488 1 2 1 506480 455790 8900 488 1 2 1 506480 455790 9500 488 1 2 1 506480 455790 10100 488 1 2 1 506480 455790 500 561 1 2 1 506480 455790 1100 561 1 2 1 506480 455790 1700 561 1 2 1 506480 455790 2300 561 1 2 1 506480 455790 2900 561 1 2 1 506480 455790 3500 561 1 2 1 506480 455790 4100 561 1 2 1 506480 455790 4700 561 1 2 1 506480 455790 5300 561 1 2 1 506480 455790 5900 561 1 2 1 506480 455790 6500 561 1 2 1 506480 455790 7100 561 1 2 1 506480 455790 7700 561 1 2 1 506480 455790 8300 561 1 2 1 506480 455790 8900 561 1 2 1 506480 455790 9500 561 1 2 1 506480 455790 10100 561 1 2 1 506480 481710 500 488 1 2 1 506480 481710 1100 488 1 2 1 506480 481710 1700 488 1 2 1 506480 481710 2300 488 1 2 1 506480 481710 2900 488 1 2 1 506480 481710 3500 488 1 2 1 506480 481710 4100 488 1 2 1 506480 481710 4700 488 1 2 1 506480 481710 5300 488 1 2 1 506480 481710 5900 488 1 2 1 506480 481710 6500 488 1 2 1 506480 481710 7100 488 1 2 1 506480 481710 7700 488 1 2 1 506480 481710 8300 488 1 2 1 506480 481710 8900 488 1 2 1 506480 481710 9500 488 1 2 1 506480 481710 10100 488 1 2 1 506480 481710 500 561 1 2 1 506480 481710 1100 561 1 2 1 506480 481710 1700 561 1 2 1 506480 481710 2300 561 1 2 1 506480 481710 2900 561 1 2 1 506480 481710 3500 561 1 2 1 506480 481710 4100 561 1 2 1 506480 481710 4700 561 1 2 1 506480 481710 5300 561 1 2 1 506480 481710 5900 561 1 2 1 506480 481710 6500 561 1 2 1 506480 481710 7100 561 1 2 1 506480 481710 7700 561 1 2 1 506480 481710 8300 561 1 2 1 506480 481710 8900 561 1 2 1 506480 481710 9500 561 1 2 1 506480 481710 10100 561 1 2 1 506480 507630 500 488 1 2 1 506480 507630 1100 488 1 2 1 506480 507630 1700 488 1 2 1 506480 507630 2300 488 1 2 1 506480 507630 2900 488 1 2 1 506480 507630 3500 488 1 2 1 506480 507630 4100 488 1 2 1 506480 507630 4700 488 1 2 1 506480 507630 5300 488 1 2 1 506480 507630 5900 488 1 2 1 506480 507630 6500 488 1 2 1 506480 507630 7100 488 1 2 1 506480 507630 7700 488 1 2 1 506480 507630 8300 488 1 2 1 506480 507630 8900 488 1 2 1 506480 507630 9500 488 1 2 1 506480 507630 10100 488 1 2 1 506480 507630 500 561 1 2 1 506480 507630 1100 561 1 2 1 506480 507630 1700 561 1 2 1 506480 507630 2300 561 1 2 1 506480 507630 2900 561 1 2 1 506480 507630 3500 561 1 2 1 506480 507630 4100 561 1 2 1 506480 507630 4700 561 1 2 1 506480 507630 5300 561 1 2 1 506480 507630 5900 561 1 2 1 506480 507630 6500 561 1 2 1 506480 507630 7100 561 1 2 1 506480 507630 7700 561 1 2 1 506480 507630 8300 561 1 2 1 506480 507630 8900 561 1 2 1 506480 507630 9500 561 1 2 1 506480 507630 10100 561 1 2 1 506480 533550 500 488 1 2 1 506480 533550 1100 488 1 2 1 506480 533550 1700 488 1 2 1 506480 533550 2300 488 1 2 1 506480 533550 2900 488 1 2 1 506480 533550 3500 488 1 2 1 506480 533550 4100 488 1 2 1 506480 533550 4700 488 1 2 1 506480 533550 5300 488 1 2 1 506480 533550 5900 488 1 2 1 506480 533550 6500 488 1 2 1 506480 533550 7100 488 1 2 1 506480 533550 7700 488 1 2 1 506480 533550 8300 488 1 2 1 506480 533550 8900 488 1 2 1 506480 533550 9500 488 1 2 1 506480 533550 10100 488 1 2 1 506480 533550 500 561 1 2 1 506480 533550 1100 561 1 2 1 506480 533550 1700 561 1 2 1 506480 533550 2300 561 1 2 1 506480 533550 2900 561 1 2 1 506480 533550 3500 561 1 2 1 506480 533550 4100 561 1 2 1 506480 533550 4700 561 1 2 1 506480 533550 5300 561 1 2 1 506480 533550 5900 561 1 2 1 506480 533550 6500 561 1 2 1 506480 533550 7100 561 1 2 1 506480 533550 7700 561 1 2 1 506480 533550 8300 561 1 2 1 506480 533550 8900 561 1 2 1 506480 533550 9500 561 1 2 1 506480 533550 10100 561 1 2 1 506480 559470 500 488 1 2 1 506480 559470 1100 488 1 2 1 506480 559470 1700 488 1 2 1 506480 559470 2300 488 1 2 1 506480 559470 2900 488 1 2 1 506480 559470 3500 488 1 2 1 506480 559470 4100 488 1 2 1 506480 559470 4700 488 1 2 1 506480 559470 5300 488 1 2 1 506480 559470 5900 488 1 2 1 506480 559470 6500 488 1 2 1 506480 559470 7100 488 1 2 1 506480 559470 7700 488 1 2 1 506480 559470 8300 488 1 2 1 506480 559470 8900 488 1 2 1 506480 559470 9500 488 1 2 1 506480 559470 10100 488 1 2 1 506480 559470 500 561 1 2 1 506480 559470 1100 561 1 2 1 506480 559470 1700 561 1 2 1 506480 559470 2300 561 1 2 1 506480 559470 2900 561 1 2 1 506480 559470 3500 561 1 2 1 506480 559470 4100 561 1 2 1 506480 559470 4700 561 1 2 1 506480 559470 5300 561 1 2 1 506480 559470 5900 561 1 2 1 506480 559470 6500 561 1 2 1 506480 559470 7100 561 1 2 1 506480 559470 7700 561 1 2 1 506480 559470 8300 561 1 2 1 506480 559470 8900 561 1 2 1 506480 559470 9500 561 1 2 1 506480 559470 10100 561 1 2 1 538880 429870 500 488 1 2 1 538880 429870 1100 488 1 2 1 538880 429870 1700 488 1 2 1 538880 429870 2300 488 1 2 1 538880 429870 2900 488 1 2 1 538880 429870 3500 488 1 2 1 538880 429870 4100 488 1 2 1 538880 429870 4700 488 1 2 1 538880 429870 5300 488 1 2 1 538880 429870 5900 488 1 2 1 538880 429870 6500 488 1 2 1 538880 429870 7100 488 1 2 1 538880 429870 7700 488 1 2 1 538880 429870 8300 488 1 2 1 538880 429870 8900 488 1 2 1 538880 429870 9500 488 1 2 1 538880 429870 10100 488 1 2 1 538880 429870 500 561 1 2 1 538880 429870 1100 561 1 2 1 538880 429870 1700 561 1 2 1 538880 429870 2300 561 1 2 1 538880 429870 2900 561 1 2 1 538880 429870 3500 561 1 2 1 538880 429870 4100 561 1 2 1 538880 429870 4700 561 1 2 1 538880 429870 5300 561 1 2 1 538880 429870 5900 561 1 2 1 538880 429870 6500 561 1 2 1 538880 429870 7100 561 1 2 1 538880 429870 7700 561 1 2 1 538880 429870 8300 561 1 2 1 538880 429870 8900 561 1 2 1 538880 429870 9500 561 1 2 1 538880 429870 10100 561 1 2 1 538880 455790 500 488 1 2 1 538880 455790 1100 488 1 2 1 538880 455790 1700 488 1 2 1 538880 455790 2300 488 1 2 1 538880 455790 2900 488 1 2 1 538880 455790 3500 488 1 2 1 538880 455790 4100 488 1 2 1 538880 455790 4700 488 1 2 1 538880 455790 5300 488 1 2 1 538880 455790 5900 488 1 2 1 538880 455790 6500 488 1 2 1 538880 455790 7100 488 1 2 1 538880 455790 7700 488 1 2 1 538880 455790 8300 488 1 2 1 538880 455790 8900 488 1 2 1 538880 455790 9500 488 1 2 1 538880 455790 10100 488 1 2 1 538880 455790 500 561 1 2 1 538880 455790 1100 561 1 2 1 538880 455790 1700 561 1 2 1 538880 455790 2300 561 1 2 1 538880 455790 2900 561 1 2 1 538880 455790 3500 561 1 2 1 538880 455790 4100 561 1 2 1 538880 455790 4700 561 1 2 1 538880 455790 5300 561 1 2 1 538880 455790 5900 561 1 2 1 538880 455790 6500 561 1 2 1 538880 455790 7100 561 1 2 1 538880 455790 7700 561 1 2 1 538880 455790 8300 561 1 2 1 538880 455790 8900 561 1 2 1 538880 455790 9500 561 1 2 1 538880 455790 10100 561 1 2 1 538880 481710 500 488 1 2 1 538880 481710 1100 488 1 2 1 538880 481710 1700 488 1 2 1 538880 481710 2300 488 1 2 1 538880 481710 2900 488 1 2 1 538880 481710 3500 488 1 2 1 538880 481710 4100 488 1 2 1 538880 481710 4700 488 1 2 1 538880 481710 5300 488 1 2 1 538880 481710 5900 488 1 2 1 538880 481710 6500 488 1 2 1 538880 481710 7100 488 1 2 1 538880 481710 7700 488 1 2 1 538880 481710 8300 488 1 2 1 538880 481710 8900 488 1 2 1 538880 481710 9500 488 1 2 1 538880 481710 10100 488 1 2 1 538880 481710 500 561 1 2 1 538880 481710 1100 561 1 2 1 538880 481710 1700 561 1 2 1 538880 481710 2300 561 1 2 1 538880 481710 2900 561 1 2 1 538880 481710 3500 561 1 2 1 538880 481710 4100 561 1 2 1 538880 481710 4700 561 1 2 1 538880 481710 5300 561 1 2 1 538880 481710 5900 561 1 2 1 538880 481710 6500 561 1 2 1 538880 481710 7100 561 1 2 1 538880 481710 7700 561 1 2 1 538880 481710 8300 561 1 2 1 538880 481710 8900 561 1 2 1 538880 481710 9500 561 1 2 1 538880 481710 10100 561 1 2 1 538880 507630 500 488 1 2 1 538880 507630 1100 488 1 2 1 538880 507630 1700 488 1 2 1 538880 507630 2300 488 1 2 1 538880 507630 2900 488 1 2 1 538880 507630 3500 488 1 2 1 538880 507630 4100 488 1 2 1 538880 507630 4700 488 1 2 1 538880 507630 5300 488 1 2 1 538880 507630 5900 488 1 2 1 538880 507630 6500 488 1 2 1 538880 507630 7100 488 1 2 1 538880 507630 7700 488 1 2 1 538880 507630 8300 488 1 2 1 538880 507630 8900 488 1 2 1 538880 507630 9500 488 1 2 1 538880 507630 10100 488 1 2 1 538880 507630 500 561 1 2 1 538880 507630 1100 561 1 2 1 538880 507630 1700 561 1 2 1 538880 507630 2300 561 1 2 1 538880 507630 2900 561 1 2 1 538880 507630 3500 561 1 2 1 538880 507630 4100 561 1 2 1 538880 507630 4700 561 1 2 1 538880 507630 5300 561 1 2 1 538880 507630 5900 561 1 2 1 538880 507630 6500 561 1 2 1 538880 507630 7100 561 1 2 1 538880 507630 7700 561 1 2 1 538880 507630 8300 561 1 2 1 538880 507630 8900 561 1 2 1 538880 507630 9500 561 1 2 1 538880 507630 10100 561 1 2 1 538880 533550 500 488 1 2 1 538880 533550 1100 488 1 2 1 538880 533550 1700 488 1 2 1 538880 533550 2300 488 1 2 1 538880 533550 2900 488 1 2 1 538880 533550 3500 488 1 2 1 538880 533550 4100 488 1 2 1 538880 533550 4700 488 1 2 1 538880 533550 5300 488 1 2 1 538880 533550 5900 488 1 2 1 538880 533550 6500 488 1 2 1 538880 533550 7100 488 1 2 1 538880 533550 7700 488 1 2 1 538880 533550 8300 488 1 2 1 538880 533550 8900 488 1 2 1 538880 533550 9500 488 1 2 1 538880 533550 10100 488 1 2 1 538880 533550 500 561 1 2 1 538880 533550 1100 561 1 2 1 538880 533550 1700 561 1 2 1 538880 533550 2300 561 1 2 1 538880 533550 2900 561 1 2 1 538880 533550 3500 561 1 2 1 538880 533550 4100 561 1 2 1 538880 533550 4700 561 1 2 1 538880 533550 5300 561 1 2 1 538880 533550 5900 561 1 2 1 538880 533550 6500 561 1 2 1 538880 533550 7100 561 1 2 1 538880 533550 7700 561 1 2 1 538880 533550 8300 561 1 2 1 538880 533550 8900 561 1 2 1 538880 533550 9500 561 1 2 1 538880 533550 10100 561 1 2 1 538880 559470 500 488 1 2 0 538880 559470 1100 488 1 2 0 538880 559470 1700 488 1 2 0 538880 559470 2300 488 1 2 0 538880 559470 2900 488 1 2 0 538880 559470 3500 488 1 2 0 538880 559470 4100 488 1 2 0 538880 559470 4700 488 1 2 0 538880 559470 5300 488 1 2 0 538880 559470 5900 488 1 2 0 538880 559470 6500 488 1 2 0 538880 559470 7100 488 1 2 0 538880 559470 7700 488 1 2 0 538880 559470 8300 488 1 2 0 538880 559470 8900 488 1 2 0 538880 559470 9500 488 1 2 0 538880 559470 10100 488 1 2 0 538880 559470 500 561 1 2 0 538880 559470 1100 561 1 2 0 538880 559470 1700 561 1 2 0 538880 559470 2300 561 1 2 0 538880 559470 2900 561 1 2 0 538880 559470 3500 561 1 2 0 538880 559470 4100 561 1 2 0 538880 559470 4700 561 1 2 0 538880 559470 5300 561 1 2 0 538880 559470 5900 561 1 2 0 538880 559470 6500 561 1 2 0 538880 559470 7100 561 1 2 0 538880 559470 7700 561 1 2 0 538880 559470 8300 561 1 2 0 538880 559470 8900 561 1 2 0 538880 559470 9500 561 1 2 0 538880 559470 10100 561 1 2 0