Obj Sampling µm/pix Z Step (µm) LCT 4x Full (2048 x 2048) 1.799805 2 X Y Z Laser Side Exposure 099200 058440 1500 1 0 2 099200 058440 2100 1 0 2 099200 058440 2700 1 0 2 099200 058440 3300 1 0 2 099200 058440 3900 1 0 2 099200 058440 4500 1 0 2 099200 058440 5100 1 0 2 099200 058440 5700 1 0 2 099200 058440 1500 0 0 1 099200 058440 2100 0 0 1 099200 058440 2700 0 0 1 099200 058440 3300 0 0 1 099200 058440 3900 0 0 1 099200 058440 4500 0 0 1 099200 058440 5100 0 0 1 099200 058440 5700 0 0 1 132370 058440 1500 1 1 2 132370 058440 2100 1 1 2 132370 058440 2700 1 1 2 132370 058440 3300 1 1 2 132370 058440 3900 1 1 2 132370 058440 4500 1 1 2 132370 058440 5100 1 1 2 132370 058440 5700 1 1 2 132370 058440 1500 0 1 1 132370 058440 2100 0 1 1 132370 058440 2700 0 1 1 132370 058440 3300 0 1 1 132370 058440 3900 0 1 1 132370 058440 4500 0 1 1 132370 058440 5100 0 1 1 132370 058440 5700 0 1 1 165540 058440 1500 1 1 2 165540 058440 2100 1 1 2 165540 058440 2700 1 1 2 165540 058440 3300 1 1 2 165540 058440 3900 1 1 2 165540 058440 4500 1 1 2 165540 058440 5100 1 1 2 165540 058440 5700 1 1 2 165540 058440 1500 0 1 1 165540 058440 2100 0 1 1 165540 058440 2700 0 1 1 165540 058440 3300 0 1 1 165540 058440 3900 0 1 1 165540 058440 4500 0 1 1 165540 058440 5100 0 1 1 165540 058440 5700 0 1 1 099200 091610 1500 1 0 2 099200 091610 2100 1 0 2 099200 091610 2700 1 0 2 099200 091610 3300 1 0 2 099200 091610 3900 1 0 2 099200 091610 4500 1 0 2 099200 091610 5100 1 0 2 099200 091610 5700 1 0 2 099200 091610 1500 0 0 1 099200 091610 2100 0 0 1 099200 091610 2700 0 0 1 099200 091610 3300 0 0 1 099200 091610 3900 0 0 1 099200 091610 4500 0 0 1 099200 091610 5100 0 0 1 099200 091610 5700 0 0 1 132370 091610 1500 1 1 2 132370 091610 2100 1 1 2 132370 091610 2700 1 1 2 132370 091610 3300 1 1 2 132370 091610 3900 1 1 2 132370 091610 4500 1 1 2 132370 091610 5100 1 1 2 132370 091610 5700 1 1 2 132370 091610 1500 0 1 1 132370 091610 2100 0 1 1 132370 091610 2700 0 1 1 132370 091610 3300 0 1 1 132370 091610 3900 0 1 1 132370 091610 4500 0 1 1 132370 091610 5100 0 1 1 132370 091610 5700 0 1 1 165540 091610 1500 1 1 2 165540 091610 2100 1 1 2 165540 091610 2700 1 1 2 165540 091610 3300 1 1 2 165540 091610 3900 1 1 2 165540 091610 4500 1 1 2 165540 091610 5100 1 1 2 165540 091610 5700 1 1 2 165540 091610 1500 0 1 1 165540 091610 2100 0 1 1 165540 091610 2700 0 1 1 165540 091610 3300 0 1 1 165540 091610 3900 0 1 1 165540 091610 4500 0 1 1 165540 091610 5100 0 1 1 165540 091610 5700 0 1 1 099200 124780 1500 1 0 2 099200 124780 2100 1 0 2 099200 124780 2700 1 0 2 099200 124780 3300 1 0 2 099200 124780 3900 1 0 2 099200 124780 4500 1 0 2 099200 124780 5100 1 0 2 099200 124780 5700 1 0 2 099200 124780 1500 0 0 1 099200 124780 2100 0 0 1 099200 124780 2700 0 0 1 099200 124780 3300 0 0 1 099200 124780 3900 0 0 1 099200 124780 4500 0 0 1 099200 124780 5100 0 0 1 099200 124780 5700 0 0 1 132370 124780 1500 1 1 2 132370 124780 2100 1 1 2 132370 124780 2700 1 1 2 132370 124780 3300 1 1 2 132370 124780 3900 1 1 2 132370 124780 4500 1 1 2 132370 124780 5100 1 1 2 132370 124780 5700 1 1 2 132370 124780 1500 0 1 1 132370 124780 2100 0 1 1 132370 124780 2700 0 1 1 132370 124780 3300 0 1 1 132370 124780 3900 0 1 1 132370 124780 4500 0 1 1 132370 124780 5100 0 1 1 132370 124780 5700 0 1 1 165540 124780 1500 1 1 2 165540 124780 2100 1 1 2 165540 124780 2700 1 1 2 165540 124780 3300 1 1 2 165540 124780 3900 1 1 2 165540 124780 4500 1 1 2 165540 124780 5100 1 1 2 165540 124780 5700 1 1 2 165540 124780 1500 0 1 1 165540 124780 2100 0 1 1 165540 124780 2700 0 1 1 165540 124780 3300 0 1 1 165540 124780 3900 0 1 1 165540 124780 4500 0 1 1 165540 124780 5100 0 1 1 165540 124780 5700 0 1 1 099200 157950 1500 1 0 2 099200 157950 2100 1 0 2 099200 157950 2700 1 0 2 099200 157950 3300 1 0 2 099200 157950 3900 1 0 2 099200 157950 4500 1 0 2 099200 157950 5100 1 0 2 099200 157950 5700 1 0 2 099200 157950 1500 0 0 1 099200 157950 2100 0 0 1 099200 157950 2700 0 0 1 099200 157950 3300 0 0 1 099200 157950 3900 0 0 1 099200 157950 4500 0 0 1 099200 157950 5100 0 0 1 099200 157950 5700 0 0 1 132370 157950 1500 1 1 2 132370 157950 2100 1 1 2 132370 157950 2700 1 1 2 132370 157950 3300 1 1 2 132370 157950 3900 1 1 2 132370 157950 4500 1 1 2 132370 157950 5100 1 1 2 132370 157950 5700 1 1 2 132370 157950 1500 0 1 1 132370 157950 2100 0 1 1 132370 157950 2700 0 1 1 132370 157950 3300 0 1 1 132370 157950 3900 0 1 1 132370 157950 4500 0 1 1 132370 157950 5100 0 1 1 132370 157950 5700 0 1 1 165540 157950 1500 1 1 2 165540 157950 2100 1 1 2 165540 157950 2700 1 1 2 165540 157950 3300 1 1 2 165540 157950 3900 1 1 2 165540 157950 4500 1 1 2 165540 157950 5100 1 1 2 165540 157950 5700 1 1 2 165540 157950 1500 0 1 1 165540 157950 2100 0 1 1 165540 157950 2700 0 1 1 165540 157950 3300 0 1 1 165540 157950 3900 0 1 1 165540 157950 4500 0 1 1 165540 157950 5100 0 1 1 165540 157950 5700 0 1 1 099200 191120 1500 1 0 2 099200 191120 2100 1 0 2 099200 191120 2700 1 0 2 099200 191120 3300 1 0 2 099200 191120 3900 1 0 2 099200 191120 4500 1 0 2 099200 191120 5100 1 0 2 099200 191120 5700 1 0 2 099200 191120 1500 0 0 1 099200 191120 2100 0 0 1 099200 191120 2700 0 0 1 099200 191120 3300 0 0 1 099200 191120 3900 0 0 1 099200 191120 4500 0 0 1 099200 191120 5100 0 0 1 099200 191120 5700 0 0 1 132370 191120 1500 1 1 2 132370 191120 2100 1 1 2 132370 191120 2700 1 1 2 132370 191120 3300 1 1 2 132370 191120 3900 1 1 2 132370 191120 4500 1 1 2 132370 191120 5100 1 1 2 132370 191120 5700 1 1 2 132370 191120 1500 0 1 1 132370 191120 2100 0 1 1 132370 191120 2700 0 1 1 132370 191120 3300 0 1 1 132370 191120 3900 0 1 1 132370 191120 4500 0 1 1 132370 191120 5100 0 1 1 132370 191120 5700 0 1 1 165540 191120 1500 1 1 2 165540 191120 2100 1 1 2 165540 191120 2700 1 1 2 165540 191120 3300 1 1 2 165540 191120 3900 1 1 2 165540 191120 4500 1 1 2 165540 191120 5100 1 1 2 165540 191120 5700 1 1 2 165540 191120 1500 0 1 1 165540 191120 2100 0 1 1 165540 191120 2700 0 1 1 165540 191120 3300 0 1 1 165540 191120 3900 0 1 1 165540 191120 4500 0 1 1 165540 191120 5100 0 1 1 165540 191120 5700 0 1 1 099200 224290 1500 1 0 2 099200 224290 2100 1 0 2 099200 224290 2700 1 0 2 099200 224290 3300 1 0 2 099200 224290 3900 1 0 2 099200 224290 4500 1 0 2 099200 224290 5100 1 0 2 099200 224290 5700 1 0 2 099200 224290 1500 0 0 1 099200 224290 2100 0 0 1 099200 224290 2700 0 0 1 099200 224290 3300 0 0 1 099200 224290 3900 0 0 1 099200 224290 4500 0 0 1 099200 224290 5100 0 0 1 099200 224290 5700 0 0 1 132370 224290 1500 1 1 2 132370 224290 2100 1 1 2 132370 224290 2700 1 1 2 132370 224290 3300 1 1 2 132370 224290 3900 1 1 2 132370 224290 4500 1 1 2 132370 224290 5100 1 1 2 132370 224290 5700 1 1 2 132370 224290 1500 0 1 1 132370 224290 2100 0 1 1 132370 224290 2700 0 1 1 132370 224290 3300 0 1 1 132370 224290 3900 0 1 1 132370 224290 4500 0 1 1 132370 224290 5100 0 1 1 132370 224290 5700 0 1 1 165540 224290 1500 1 1 2 165540 224290 2100 1 1 2 165540 224290 2700 1 1 2 165540 224290 3300 1 1 2 165540 224290 3900 1 1 2 165540 224290 4500 1 1 2 165540 224290 5100 1 1 2 165540 224290 5700 1 1 2 165540 224290 1500 0 1 1 165540 224290 2100 0 1 1 165540 224290 2700 0 1 1 165540 224290 3300 0 1 1 165540 224290 3900 0 1 1 165540 224290 4500 0 1 1 165540 224290 5100 0 1 1 165540 224290 5700 0 1 1