Obj V_Res µm/pix Z step (µm) Scanning LCT 4x 1600 1.873 5 Fast Wavelength Power L Power R 488 45.00 30.00 561 45.00 45.00 642 40.00 40.00 N/A 20.00 20.00 X Y Z Laser Side Exposure 122240 092160 4198 488 0 2 122240 092160 4798 488 0 2 122240 092160 5398 488 0 2 122240 092160 5998 488 0 2 122240 092160 6598 488 0 2 122240 092160 7198 488 0 2 122240 092160 7798 488 0 2 122240 092160 8398 488 0 2 122240 092160 8998 488 0 2 122240 092160 9598 488 0 2 122240 092160 10198 488 0 2 122240 092160 10798 488 0 2 122240 092160 4198 561 0 2 122240 092160 4798 561 0 2 122240 092160 5398 561 0 2 122240 092160 5998 561 0 2 122240 092160 6598 561 0 2 122240 092160 7198 561 0 2 122240 092160 7798 561 0 2 122240 092160 8398 561 0 2 122240 092160 8998 561 0 2 122240 092160 9598 561 0 2 122240 092160 10198 561 0 2 122240 092160 10798 561 0 2 122240 092160 4198 642 0 2 122240 092160 4798 642 0 2 122240 092160 5398 642 0 2 122240 092160 5998 642 0 2 122240 092160 6598 642 0 2 122240 092160 7198 642 0 2 122240 092160 7798 642 0 2 122240 092160 8398 642 0 2 122240 092160 8998 642 0 2 122240 092160 9598 642 0 2 122240 092160 10198 642 0 2 122240 092160 10798 642 0 2 155950 092160 4198 488 1 2 155950 092160 4798 488 1 2 155950 092160 5398 488 1 2 155950 092160 5998 488 1 2 155950 092160 6598 488 1 2 155950 092160 7198 488 1 2 155950 092160 7798 488 1 2 155950 092160 8398 488 1 2 155950 092160 8998 488 1 2 155950 092160 9598 488 1 2 155950 092160 10198 488 1 2 155950 092160 10798 488 1 2 155950 092160 4198 561 1 2 155950 092160 4798 561 1 2 155950 092160 5398 561 1 2 155950 092160 5998 561 1 2 155950 092160 6598 561 1 2 155950 092160 7198 561 1 2 155950 092160 7798 561 1 2 155950 092160 8398 561 1 2 155950 092160 8998 561 1 2 155950 092160 9598 561 1 2 155950 092160 10198 561 1 2 155950 092160 10798 561 1 2 155950 092160 4198 642 1 2 155950 092160 4798 642 1 2 155950 092160 5398 642 1 2 155950 092160 5998 642 1 2 155950 092160 6598 642 1 2 155950 092160 7198 642 1 2 155950 092160 7798 642 1 2 155950 092160 8398 642 1 2 155950 092160 8998 642 1 2 155950 092160 9598 642 1 2 155950 092160 10198 642 1 2 155950 092160 10798 642 1 2 189660 092160 4198 488 1 2 189660 092160 4798 488 1 2 189660 092160 5398 488 1 2 189660 092160 5998 488 1 2 189660 092160 6598 488 1 2 189660 092160 7198 488 1 2 189660 092160 7798 488 1 2 189660 092160 8398 488 1 2 189660 092160 8998 488 1 2 189660 092160 9598 488 1 2 189660 092160 10198 488 1 2 189660 092160 10798 488 1 2 189660 092160 4198 561 1 2 189660 092160 4798 561 1 2 189660 092160 5398 561 1 2 189660 092160 5998 561 1 2 189660 092160 6598 561 1 2 189660 092160 7198 561 1 2 189660 092160 7798 561 1 2 189660 092160 8398 561 1 2 189660 092160 8998 561 1 2 189660 092160 9598 561 1 2 189660 092160 10198 561 1 2 189660 092160 10798 561 1 2 189660 092160 4198 642 1 2 189660 092160 4798 642 1 2 189660 092160 5398 642 1 2 189660 092160 5998 642 1 2 189660 092160 6598 642 1 2 189660 092160 7198 642 1 2 189660 092160 7798 642 1 2 189660 092160 8398 642 1 2 189660 092160 8998 642 1 2 189660 092160 9598 642 1 2 189660 092160 10198 642 1 2 189660 092160 10798 642 1 2 122240 119130 4198 488 0 2 122240 119130 4798 488 0 2 122240 119130 5398 488 0 2 122240 119130 5998 488 0 2 122240 119130 6598 488 0 2 122240 119130 7198 488 0 2 122240 119130 7798 488 0 2 122240 119130 8398 488 0 2 122240 119130 8998 488 0 2 122240 119130 9598 488 0 2 122240 119130 10198 488 0 2 122240 119130 10798 488 0 2 122240 119130 4198 561 0 2 122240 119130 4798 561 0 2 122240 119130 5398 561 0 2 122240 119130 5998 561 0 2 122240 119130 6598 561 0 2 122240 119130 7198 561 0 2 122240 119130 7798 561 0 2 122240 119130 8398 561 0 2 122240 119130 8998 561 0 2 122240 119130 9598 561 0 2 122240 119130 10198 561 0 2 122240 119130 10798 561 0 2 122240 119130 4198 642 0 2 122240 119130 4798 642 0 2 122240 119130 5398 642 0 2 122240 119130 5998 642 0 2 122240 119130 6598 642 0 2 122240 119130 7198 642 0 2 122240 119130 7798 642 0 2 122240 119130 8398 642 0 2 122240 119130 8998 642 0 2 122240 119130 9598 642 0 2 122240 119130 10198 642 0 2 122240 119130 10798 642 0 2 155950 119130 4198 488 1 2 155950 119130 4798 488 1 2 155950 119130 5398 488 1 2 155950 119130 5998 488 1 2 155950 119130 6598 488 1 2 155950 119130 7198 488 1 2 155950 119130 7798 488 1 2 155950 119130 8398 488 1 2 155950 119130 8998 488 1 2 155950 119130 9598 488 1 2 155950 119130 10198 488 1 2 155950 119130 10798 488 1 2 155950 119130 4198 561 1 2 155950 119130 4798 561 1 2 155950 119130 5398 561 1 2 155950 119130 5998 561 1 2 155950 119130 6598 561 1 2 155950 119130 7198 561 1 2 155950 119130 7798 561 1 2 155950 119130 8398 561 1 2 155950 119130 8998 561 1 2 155950 119130 9598 561 1 2 155950 119130 10198 561 1 2 155950 119130 10798 561 1 2 155950 119130 4198 642 1 2 155950 119130 4798 642 1 2 155950 119130 5398 642 1 2 155950 119130 5998 642 1 2 155950 119130 6598 642 1 2 155950 119130 7198 642 1 2 155950 119130 7798 642 1 2 155950 119130 8398 642 1 2 155950 119130 8998 642 1 2 155950 119130 9598 642 1 2 155950 119130 10198 642 1 2 155950 119130 10798 642 1 2 189660 119130 4198 488 1 2 189660 119130 4798 488 1 2 189660 119130 5398 488 1 2 189660 119130 5998 488 1 2 189660 119130 6598 488 1 2 189660 119130 7198 488 1 2 189660 119130 7798 488 1 2 189660 119130 8398 488 1 2 189660 119130 8998 488 1 2 189660 119130 9598 488 1 2 189660 119130 10198 488 1 2 189660 119130 10798 488 1 2 189660 119130 4198 561 1 2 189660 119130 4798 561 1 2 189660 119130 5398 561 1 2 189660 119130 5998 561 1 2 189660 119130 6598 561 1 2 189660 119130 7198 561 1 2 189660 119130 7798 561 1 2 189660 119130 8398 561 1 2 189660 119130 8998 561 1 2 189660 119130 9598 561 1 2 189660 119130 10198 561 1 2 189660 119130 10798 561 1 2 189660 119130 4198 642 1 2 189660 119130 4798 642 1 2 189660 119130 5398 642 1 2 189660 119130 5998 642 1 2 189660 119130 6598 642 1 2 189660 119130 7198 642 1 2 189660 119130 7798 642 1 2 189660 119130 8398 642 1 2 189660 119130 8998 642 1 2 189660 119130 9598 642 1 2 189660 119130 10198 642 1 2 189660 119130 10798 642 1 2 122240 146100 4198 488 0 2 122240 146100 4798 488 0 2 122240 146100 5398 488 0 2 122240 146100 5998 488 0 2 122240 146100 6598 488 0 2 122240 146100 7198 488 0 2 122240 146100 7798 488 0 2 122240 146100 8398 488 0 2 122240 146100 8998 488 0 2 122240 146100 9598 488 0 2 122240 146100 10198 488 0 2 122240 146100 10798 488 0 2 122240 146100 4198 561 0 2 122240 146100 4798 561 0 2 122240 146100 5398 561 0 2 122240 146100 5998 561 0 2 122240 146100 6598 561 0 2 122240 146100 7198 561 0 2 122240 146100 7798 561 0 2 122240 146100 8398 561 0 2 122240 146100 8998 561 0 2 122240 146100 9598 561 0 2 122240 146100 10198 561 0 2 122240 146100 10798 561 0 2 122240 146100 4198 642 0 2 122240 146100 4798 642 0 2 122240 146100 5398 642 0 2 122240 146100 5998 642 0 2 122240 146100 6598 642 0 2 122240 146100 7198 642 0 2 122240 146100 7798 642 0 2 122240 146100 8398 642 0 2 122240 146100 8998 642 0 2 122240 146100 9598 642 0 2 122240 146100 10198 642 0 2 122240 146100 10798 642 0 2 155950 146100 4198 488 1 2 155950 146100 4798 488 1 2 155950 146100 5398 488 1 2 155950 146100 5998 488 1 2 155950 146100 6598 488 1 2 155950 146100 7198 488 1 2 155950 146100 7798 488 1 2 155950 146100 8398 488 1 2 155950 146100 8998 488 1 2 155950 146100 9598 488 1 2 155950 146100 10198 488 1 2 155950 146100 10798 488 1 2 155950 146100 4198 561 1 2 155950 146100 4798 561 1 2 155950 146100 5398 561 1 2 155950 146100 5998 561 1 2 155950 146100 6598 561 1 2 155950 146100 7198 561 1 2 155950 146100 7798 561 1 2 155950 146100 8398 561 1 2 155950 146100 8998 561 1 2 155950 146100 9598 561 1 2 155950 146100 10198 561 1 2 155950 146100 10798 561 1 2 155950 146100 4198 642 1 2 155950 146100 4798 642 1 2 155950 146100 5398 642 1 2 155950 146100 5998 642 1 2 155950 146100 6598 642 1 2 155950 146100 7198 642 1 2 155950 146100 7798 642 1 2 155950 146100 8398 642 1 2 155950 146100 8998 642 1 2 155950 146100 9598 642 1 2 155950 146100 10198 642 1 2 155950 146100 10798 642 1 2 189660 146100 4198 488 1 2 189660 146100 4798 488 1 2 189660 146100 5398 488 1 2 189660 146100 5998 488 1 2 189660 146100 6598 488 1 2 189660 146100 7198 488 1 2 189660 146100 7798 488 1 2 189660 146100 8398 488 1 2 189660 146100 8998 488 1 2 189660 146100 9598 488 1 2 189660 146100 10198 488 1 2 189660 146100 10798 488 1 2 189660 146100 4198 561 1 2 189660 146100 4798 561 1 2 189660 146100 5398 561 1 2 189660 146100 5998 561 1 2 189660 146100 6598 561 1 2 189660 146100 7198 561 1 2 189660 146100 7798 561 1 2 189660 146100 8398 561 1 2 189660 146100 8998 561 1 2 189660 146100 9598 561 1 2 189660 146100 10198 561 1 2 189660 146100 10798 561 1 2 189660 146100 4198 642 1 2 189660 146100 4798 642 1 2 189660 146100 5398 642 1 2 189660 146100 5998 642 1 2 189660 146100 6598 642 1 2 189660 146100 7198 642 1 2 189660 146100 7798 642 1 2 189660 146100 8398 642 1 2 189660 146100 8998 642 1 2 189660 146100 9598 642 1 2 189660 146100 10198 642 1 2 189660 146100 10798 642 1 2 122240 173070 4198 488 0 2 122240 173070 4798 488 0 2 122240 173070 5398 488 0 2 122240 173070 5998 488 0 2 122240 173070 6598 488 0 2 122240 173070 7198 488 0 2 122240 173070 7798 488 0 2 122240 173070 8398 488 0 2 122240 173070 8998 488 0 2 122240 173070 9598 488 0 2 122240 173070 10198 488 0 2 122240 173070 10798 488 0 2 122240 173070 4198 561 0 2 122240 173070 4798 561 0 2 122240 173070 5398 561 0 2 122240 173070 5998 561 0 2 122240 173070 6598 561 0 2 122240 173070 7198 561 0 2 122240 173070 7798 561 0 2 122240 173070 8398 561 0 2 122240 173070 8998 561 0 2 122240 173070 9598 561 0 2 122240 173070 10198 561 0 2 122240 173070 10798 561 0 2 122240 173070 4198 642 0 2 122240 173070 4798 642 0 2 122240 173070 5398 642 0 2 122240 173070 5998 642 0 2 122240 173070 6598 642 0 2 122240 173070 7198 642 0 2 122240 173070 7798 642 0 2 122240 173070 8398 642 0 2 122240 173070 8998 642 0 2 122240 173070 9598 642 0 2 122240 173070 10198 642 0 2 122240 173070 10798 642 0 2 155950 173070 4198 488 1 2 155950 173070 4798 488 1 2 155950 173070 5398 488 1 2 155950 173070 5998 488 1 2 155950 173070 6598 488 1 2 155950 173070 7198 488 1 2 155950 173070 7798 488 1 2 155950 173070 8398 488 1 2 155950 173070 8998 488 1 2 155950 173070 9598 488 1 2 155950 173070 10198 488 1 2 155950 173070 10798 488 1 2 155950 173070 4198 561 1 2 155950 173070 4798 561 1 2 155950 173070 5398 561 1 2 155950 173070 5998 561 1 2 155950 173070 6598 561 1 2 155950 173070 7198 561 1 2 155950 173070 7798 561 1 2 155950 173070 8398 561 1 2 155950 173070 8998 561 1 2 155950 173070 9598 561 1 2 155950 173070 10198 561 1 2 155950 173070 10798 561 1 2 155950 173070 4198 642 1 2 155950 173070 4798 642 1 2 155950 173070 5398 642 1 2 155950 173070 5998 642 1 2 155950 173070 6598 642 1 2 155950 173070 7198 642 1 2 155950 173070 7798 642 1 2 155950 173070 8398 642 1 2 155950 173070 8998 642 1 2 155950 173070 9598 642 1 2 155950 173070 10198 642 1 2 155950 173070 10798 642 1 2 189660 173070 4198 488 1 2 189660 173070 4798 488 1 2 189660 173070 5398 488 1 2 189660 173070 5998 488 1 2 189660 173070 6598 488 1 2 189660 173070 7198 488 1 2 189660 173070 7798 488 1 2 189660 173070 8398 488 1 2 189660 173070 8998 488 1 2 189660 173070 9598 488 1 2 189660 173070 10198 488 1 2 189660 173070 10798 488 1 2 189660 173070 4198 561 1 2 189660 173070 4798 561 1 2 189660 173070 5398 561 1 2 189660 173070 5998 561 1 2 189660 173070 6598 561 1 2 189660 173070 7198 561 1 2 189660 173070 7798 561 1 2 189660 173070 8398 561 1 2 189660 173070 8998 561 1 2 189660 173070 9598 561 1 2 189660 173070 10198 561 1 2 189660 173070 10798 561 1 2 189660 173070 4198 642 1 2 189660 173070 4798 642 1 2 189660 173070 5398 642 1 2 189660 173070 5998 642 1 2 189660 173070 6598 642 1 2 189660 173070 7198 642 1 2 189660 173070 7798 642 1 2 189660 173070 8398 642 1 2 189660 173070 8998 642 1 2 189660 173070 9598 642 1 2 189660 173070 10198 642 1 2 189660 173070 10798 642 1 2 122240 200040 4198 488 0 2 122240 200040 4798 488 0 2 122240 200040 5398 488 0 2 122240 200040 5998 488 0 2 122240 200040 6598 488 0 2 122240 200040 7198 488 0 2 122240 200040 7798 488 0 2 122240 200040 8398 488 0 2 122240 200040 8998 488 0 2 122240 200040 9598 488 0 2 122240 200040 10198 488 0 2 122240 200040 10798 488 0 2 122240 200040 4198 561 0 2 122240 200040 4798 561 0 2 122240 200040 5398 561 0 2 122240 200040 5998 561 0 2 122240 200040 6598 561 0 2 122240 200040 7198 561 0 2 122240 200040 7798 561 0 2 122240 200040 8398 561 0 2 122240 200040 8998 561 0 2 122240 200040 9598 561 0 2 122240 200040 10198 561 0 2 122240 200040 10798 561 0 2 122240 200040 4198 642 0 2 122240 200040 4798 642 0 2 122240 200040 5398 642 0 2 122240 200040 5998 642 0 2 122240 200040 6598 642 0 2 122240 200040 7198 642 0 2 122240 200040 7798 642 0 2 122240 200040 8398 642 0 2 122240 200040 8998 642 0 2 122240 200040 9598 642 0 2 122240 200040 10198 642 0 2 122240 200040 10798 642 0 2 155950 200040 4198 488 1 2 155950 200040 4798 488 1 2 155950 200040 5398 488 1 2 155950 200040 5998 488 1 2 155950 200040 6598 488 1 2 155950 200040 7198 488 1 2 155950 200040 7798 488 1 2 155950 200040 8398 488 1 2 155950 200040 8998 488 1 2 155950 200040 9598 488 1 2 155950 200040 10198 488 1 2 155950 200040 10798 488 1 2 155950 200040 4198 561 1 2 155950 200040 4798 561 1 2 155950 200040 5398 561 1 2 155950 200040 5998 561 1 2 155950 200040 6598 561 1 2 155950 200040 7198 561 1 2 155950 200040 7798 561 1 2 155950 200040 8398 561 1 2 155950 200040 8998 561 1 2 155950 200040 9598 561 1 2 155950 200040 10198 561 1 2 155950 200040 10798 561 1 2 155950 200040 4198 642 1 2 155950 200040 4798 642 1 2 155950 200040 5398 642 1 2 155950 200040 5998 642 1 2 155950 200040 6598 642 1 2 155950 200040 7198 642 1 2 155950 200040 7798 642 1 2 155950 200040 8398 642 1 2 155950 200040 8998 642 1 2 155950 200040 9598 642 1 2 155950 200040 10198 642 1 2 155950 200040 10798 642 1 2 189660 200040 4198 488 1 2 189660 200040 4798 488 1 2 189660 200040 5398 488 1 2 189660 200040 5998 488 1 2 189660 200040 6598 488 1 2 189660 200040 7198 488 1 2 189660 200040 7798 488 1 2 189660 200040 8398 488 1 2 189660 200040 8998 488 1 2 189660 200040 9598 488 1 2 189660 200040 10198 488 1 2 189660 200040 10798 488 1 2 189660 200040 4198 561 1 2 189660 200040 4798 561 1 2 189660 200040 5398 561 1 2 189660 200040 5998 561 1 2 189660 200040 6598 561 1 2 189660 200040 7198 561 1 2 189660 200040 7798 561 1 2 189660 200040 8398 561 1 2 189660 200040 8998 561 1 2 189660 200040 9598 561 1 2 189660 200040 10198 561 1 2 189660 200040 10798 561 1 2 189660 200040 4198 642 1 2 189660 200040 4798 642 1 2 189660 200040 5398 642 1 2 189660 200040 5998 642 1 2 189660 200040 6598 642 1 2 189660 200040 7198 642 1 2 189660 200040 7798 642 1 2 189660 200040 8398 642 1 2 189660 200040 8998 642 1 2 189660 200040 9598 642 1 2 189660 200040 10198 642 1 2 189660 200040 10798 642 1 2