Obj V_Res µm/pix Z step (µm) Scanning LCT 4x 1600 1.873 4 Fast Wavelength Power (%) Balance 488 15.00 1.00 561 10.00 1.00 647 20.00 1.00 785 0.00 1.00 X Y Z Laser Side Exposure 128480 150250 7092 0 1 2 128480 150250 7692 0 1 2 128480 150250 8292 0 1 2 128480 150250 8892 0 1 2 128480 150250 9492 0 1 2 128480 150250 10092 0 1 2 128480 150250 10692 0 1 2 128480 150250 7092 1 1 2 128480 150250 7692 1 1 2 128480 150250 8292 1 1 2 128480 150250 8892 1 1 2 128480 150250 9492 1 1 2 128480 150250 10092 1 1 2 128480 150250 10692 1 1 2 128480 150250 7092 2 1 2 128480 150250 7692 2 1 2 128480 150250 8292 2 1 2 128480 150250 8892 2 1 2 128480 150250 9492 2 1 2 128480 150250 10092 2 1 2 128480 150250 10692 2 1 2 162190 150250 7092 0 1 2 162190 150250 7692 0 1 2 162190 150250 8292 0 1 2 162190 150250 8892 0 1 2 162190 150250 9492 0 1 2 162190 150250 10092 0 1 2 162190 150250 10692 0 1 2 162190 150250 7092 1 1 2 162190 150250 7692 1 1 2 162190 150250 8292 1 1 2 162190 150250 8892 1 1 2 162190 150250 9492 1 1 2 162190 150250 10092 1 1 2 162190 150250 10692 1 1 2 162190 150250 7092 2 1 2 162190 150250 7692 2 1 2 162190 150250 8292 2 1 2 162190 150250 8892 2 1 2 162190 150250 9492 2 1 2 162190 150250 10092 2 1 2 162190 150250 10692 2 1 2 128480 177220 7092 0 1 2 128480 177220 7692 0 1 2 128480 177220 8292 0 1 2 128480 177220 8892 0 1 2 128480 177220 9492 0 1 2 128480 177220 10092 0 1 2 128480 177220 10692 0 1 2 128480 177220 7092 1 1 2 128480 177220 7692 1 1 2 128480 177220 8292 1 1 2 128480 177220 8892 1 1 2 128480 177220 9492 1 1 2 128480 177220 10092 1 1 2 128480 177220 10692 1 1 2 128480 177220 7092 2 1 2 128480 177220 7692 2 1 2 128480 177220 8292 2 1 2 128480 177220 8892 2 1 2 128480 177220 9492 2 1 2 128480 177220 10092 2 1 2 128480 177220 10692 2 1 2 162190 177220 7092 0 1 2 162190 177220 7692 0 1 2 162190 177220 8292 0 1 2 162190 177220 8892 0 1 2 162190 177220 9492 0 1 2 162190 177220 10092 0 1 2 162190 177220 10692 0 1 2 162190 177220 7092 1 1 2 162190 177220 7692 1 1 2 162190 177220 8292 1 1 2 162190 177220 8892 1 1 2 162190 177220 9492 1 1 2 162190 177220 10092 1 1 2 162190 177220 10692 1 1 2 162190 177220 7092 2 1 2 162190 177220 7692 2 1 2 162190 177220 8292 2 1 2 162190 177220 8892 2 1 2 162190 177220 9492 2 1 2 162190 177220 10092 2 1 2 162190 177220 10692 2 1 2 128480 204190 7092 0 1 2 128480 204190 7692 0 1 2 128480 204190 8292 0 1 2 128480 204190 8892 0 1 2 128480 204190 9492 0 1 2 128480 204190 10092 0 1 2 128480 204190 10692 0 1 2 128480 204190 7092 1 1 2 128480 204190 7692 1 1 2 128480 204190 8292 1 1 2 128480 204190 8892 1 1 2 128480 204190 9492 1 1 2 128480 204190 10092 1 1 2 128480 204190 10692 1 1 2 128480 204190 7092 2 1 2 128480 204190 7692 2 1 2 128480 204190 8292 2 1 2 128480 204190 8892 2 1 2 128480 204190 9492 2 1 2 128480 204190 10092 2 1 2 128480 204190 10692 2 1 2 162190 204190 7092 0 1 2 162190 204190 7692 0 1 2 162190 204190 8292 0 1 2 162190 204190 8892 0 1 2 162190 204190 9492 0 1 2 162190 204190 10092 0 1 2 162190 204190 10692 0 1 2 162190 204190 7092 1 1 2 162190 204190 7692 1 1 2 162190 204190 8292 1 1 2 162190 204190 8892 1 1 2 162190 204190 9492 1 1 2 162190 204190 10092 1 1 2 162190 204190 10692 1 1 2 162190 204190 7092 2 1 2 162190 204190 7692 2 1 2 162190 204190 8292 2 1 2 162190 204190 8892 2 1 2 162190 204190 9492 2 1 2 162190 204190 10092 2 1 2 162190 204190 10692 2 1 2 128480 231160 7092 0 1 2 128480 231160 7692 0 1 2 128480 231160 8292 0 1 2 128480 231160 8892 0 1 2 128480 231160 9492 0 1 2 128480 231160 10092 0 1 2 128480 231160 10692 0 1 2 128480 231160 7092 1 1 2 128480 231160 7692 1 1 2 128480 231160 8292 1 1 2 128480 231160 8892 1 1 2 128480 231160 9492 1 1 2 128480 231160 10092 1 1 2 128480 231160 10692 1 1 2 128480 231160 7092 2 1 2 128480 231160 7692 2 1 2 128480 231160 8292 2 1 2 128480 231160 8892 2 1 2 128480 231160 9492 2 1 2 128480 231160 10092 2 1 2 128480 231160 10692 2 1 2 162190 231160 7092 0 1 2 162190 231160 7692 0 1 2 162190 231160 8292 0 1 2 162190 231160 8892 0 1 2 162190 231160 9492 0 1 2 162190 231160 10092 0 1 2 162190 231160 10692 0 1 2 162190 231160 7092 1 1 2 162190 231160 7692 1 1 2 162190 231160 8292 1 1 2 162190 231160 8892 1 1 2 162190 231160 9492 1 1 2 162190 231160 10092 1 1 2 162190 231160 10692 1 1 2 162190 231160 7092 2 1 2 162190 231160 7692 2 1 2 162190 231160 8292 2 1 2 162190 231160 8892 2 1 2 162190 231160 9492 2 1 2 162190 231160 10092 2 1 2 162190 231160 10692 2 1 2